题        目：激光干涉纳米光刻系统设计及实现

时        间：12月10日上午8：00

地        点：南区研究生楼805室

主 讲 人：张  锦  博士（中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室副研究员）

承办单位：电子信息工程学院